Nano-and microelectromechanical systems : fundamentals of nano- and microengineering /
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| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Boca Raton
CRC Press
c2001.
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | CRCnetBASE |
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