MEMS mechanical sensors /
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| Altri autori: | |
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| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Boston
Artech House
c2004.
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| Descrizione fisica: | x, 269 pages : illustrations ; 26 cm. |
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| Bibliografia: | Includes bibliographical references. |
| ISBN: | 1580535364 |