MEMS mechanical sensors /

Gardado en:
Detalles Bibliográficos
Outros autores: Beeby, Stephen
Formato: Libro
Idioma:English
Publicado: Boston Artech House c2004.
Subjects:
Tags: Engadir etiqueta
Sen Etiquetas, Sexa o primeiro en etiquetar este rexistro!
LEADER 01161nam a2200301 4500
001 vtls000013537
003 MY-ArUMP
005 20210731231654.0
008 040825 u000 u eng d
020 |a 1580535364  |c RM510.18 
035 |a (OCoLC)ocm54692250 
039 9 |a 201207251048  |b VLOAD  |c 201203011010  |d SMT  |c 201111251712  |d VLOAD  |c 201111161237  |d VLOAD  |y 200408251422  |z Fazlullah  |e SNSA 
040 |a MYPMP  |b eng  |e rda  |c MYPMP 
090 0 0 |a TK7875  |b M534 2004 
245 1 0 |a MEMS mechanical sensors /  |c Stephen Beeby ... [et al.]. 
264 1 |a Boston  |b Artech House  |c c2004. 
300 |a x, 269 pages :  |b illustrations ;  |c 26 cm. 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a unmediated  |b n  |2 rdamedia 
338 |a volume  |b nc  |2 rdacarrier  
504 |a Includes bibliographical references. 
650 0 |a Microelectromechanical systems  |x Design and construction. 
650 0 |a Detectors. 
700 1 |a Beeby, Stephen. 
942 |2 lcc  |c BK-OS 
949 |a VIRTUAITEM  |d 30000  |f 1  |x 1  |6 016659  |9 1 
999 |c 84637  |d 84637 
952 |0 0  |1 0  |2 lcc  |4 0  |6 TK7875 M534 02004  |7 0  |9 75308  |a PTSFP  |b PTSFP  |c 1  |d 2021-07-31  |l 0  |o TK7875 M534 2004  |p 016659  |r 2021-07-31  |t 1  |w 2021-07-31  |y BK-OS