N. Helbert, J. Handbook of VLSI microlithography: Principles, tools, technology, and applications.
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الطبعة الثامنة)N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.