N. Helbert, J. Handbook of VLSI microlithography: Principles, tools, technology, and applications.
Citace podle Chicago (17th ed.)N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.
Citace podle MLA (8th ed.)N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..