N. Helbert, J. Handbook of VLSI microlithography: Principles, tools, technology, and applications.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.