Παραπομπή σε μορφή APA (7η εκδ.)

N. Helbert, J. Handbook of VLSI microlithography: Principles, tools, technology, and applications.

Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)

N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.

Παραπομπή σε μορφή MLA (8th εκδ.)

N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.