N. Helbert, J. Handbook of VLSI microlithography: Principles, tools, technology, and applications.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումN. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.
MLA (8րդ խմբ.) ՄեջբերումN. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.