APA (7e ed.) Bronvermelding

N. Helbert, J. Handbook of VLSI microlithography: Principles, tools, technology, and applications.

Chicago (17e ed.) Bronvermelding

N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.

MLA (8e ed.) Bronvermelding

N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.

Let op: Deze citaties zijn niet altijd 100% accuraat.