N. Helbert, J. Handbook of VLSI microlithography: Principles, tools, technology, and applications.
Cytowanie według stylu Chicago (wyd. 17)N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.
Cytowanie według stylu MLA (wyd. 8)N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.
Uwaga: Te cytaty mogą odróżniać się od wytycznej twojego fakultetu..