Citação norma APA

N. Helbert, J. Handbook of VLSI microlithography: Principles, tools, technology, and applications.

Citação norma Chicago

N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.

Citação norma MLA

N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.

Nota: a formatação da citação pode não corresponder 100% ao definido pela respectiva norma.