N. Helbert, J. Handbook of VLSI microlithography: Principles, tools, technology, and applications.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.
Цитирование MLA (8-е изд.)N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.