N. Helbert, J. Handbook of VLSI microlithography: Principles, tools, technology, and applications.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.