Trích dẫn kiểu APA (xuất bản lần thứ 7)

N. Helbert, J. Handbook of VLSI microlithography: Principles, tools, technology, and applications.

Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)

N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.

Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 8)

N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.

Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.