APA-referens (7:e uppl.)

N. Helbert, J. Handbook of VLSI microlithography: Principles, tools, technology, and applications.

Chicago-referens (17:e uppl.)

N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.

MLA-referens (8:e uppl.)

N. Helbert, John. Handbook of VLSI Microlithography: Principles, Tools, Technology, and Applications.

Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.