Nur Syuhada Md. Desa. Study of aspect ratio performance on silicon oxide etching using profiler meter, AFM and SEM.
Chicago-viite (17. p.)Nur Syuhada Md. Desa. Study of Aspect Ratio Performance on Silicon Oxide Etching Using Profiler Meter, AFM and SEM.
MLA-viite (8. p.)Nur Syuhada Md. Desa. Study of Aspect Ratio Performance on Silicon Oxide Etching Using Profiler Meter, AFM and SEM.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.