Nur Syuhada Md. Desa. Study of aspect ratio performance on silicon oxide etching using profiler meter, AFM and SEM.
Citação norma ChicagoNur Syuhada Md. Desa. Study of Aspect Ratio Performance on Silicon Oxide Etching Using Profiler Meter, AFM and SEM.
Citação norma MLANur Syuhada Md. Desa. Study of Aspect Ratio Performance on Silicon Oxide Etching Using Profiler Meter, AFM and SEM.
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