Nur Syuhada Md. Desa. Study of aspect ratio performance on silicon oxide etching using profiler meter, AFM and SEM.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Nur Syuhada Md. Desa. Study of Aspect Ratio Performance on Silicon Oxide Etching Using Profiler Meter, AFM and SEM.
Цитирование MLA (8-е изд.)Nur Syuhada Md. Desa. Study of Aspect Ratio Performance on Silicon Oxide Etching Using Profiler Meter, AFM and SEM.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.