Nur Syuhada Md. Desa. Study of aspect ratio performance on silicon oxide etching using profiler meter, AFM and SEM.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Nur Syuhada Md. Desa. Study of Aspect Ratio Performance on Silicon Oxide Etching Using Profiler Meter, AFM and SEM.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 8)Nur Syuhada Md. Desa. Study of Aspect Ratio Performance on Silicon Oxide Etching Using Profiler Meter, AFM and SEM.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.