Low, Z. S. Optimization of nitride deposition process using Taguchi method.
Chicago-viite (17. p.)Low, Zen Shiang. Optimization of Nitride Deposition Process Using Taguchi Method.
MLA-viite (8. p.)Low, Zen Shiang. Optimization of Nitride Deposition Process Using Taguchi Method.
Varoitus: Nämä viitteet eivät aina ole täysin luotettavia.