Single cyrstal SiC capacitive pressure sensor

This final year project is about to design a capacitive pressure sensor that can be operated in high temperature using the Single Crystal 3C-SiC as the diaphragm.

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Detalhes bibliográficos
Autor principal: Ruhaizi Mohd Hatta (Author)
Formato: Recurso Electrónico Software Base de Dados
Idioma:English
Assuntos:
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Descrição
Resumo:This final year project is about to design a capacitive pressure sensor that can be operated in high temperature using the Single Crystal 3C-SiC as the diaphragm.
Descrição do item:Final Year Project
Descrição Física:1 CD-ROM 4 3/4 in.