Microfluidic poly-si electrodes capacitor (fabricate & testing)

The objectives of this project is to fabricate a micro channel on silicon wafer and to measure the capacitance and electrical properties as a whole.

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書誌詳細
第一著者: Esmal Fhadly Abd Malek (著者)
フォーマット: 電子媒体 ソフトウェア データベース
言語:English
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