Microfluidic poly-si electrodes capacitor (fabricate & testing)

The objectives of this project is to fabricate a micro channel on silicon wafer and to measure the capacitance and electrical properties as a whole.

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Auteur principal: Esmal Fhadly Abd Malek (Auteur)
Format: Électronique Logiciel Base de données
Langue:English
Sujets:
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