Study on diffusivity of gallium dopant in silicon using spin on dopant (SOD) technique

In this final year project the diffusivity of gallium using spin on dopant technique is studied. The study includes mathematical calculation, computer simulation, fabrication and characterization of the diffusivity criteria such as surface concentration, dopant profiling and resistivity.

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Mohd Rosydi Zakaria (مؤلف)
التنسيق: الكتروني برمجيات قاعدة البيانات
اللغة:English
الموضوعات:
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!