The influence on the accelerating voltages on the growth of the square structure during electron beam induced deposition (EBID) method

In this final year project, EBID method has been used to deposit the square shape carbon structure on the substrate using the residual gas hydrocarbon as the precursor gas during deposition.

Պահպանված է:
Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակ: Muhammad Afiq Abdul Aziz (Հեղինակ)
Ձևաչափ: Էլեկտրոնային Ծրագրային ապահովում Շտեմարան
Լեզու:English
Խորագրեր:
Ցուցիչներ: Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
LEADER 01297nmi a2200241 a 4500
001 vtls000051333
003 MY-KaKUK
005 20210816100352.0
007 co bg|llla a
008 111129s2008 my f d eng d
039 9 |a 201111291743  |b VLOAD  |c 201111161333  |d VLOAD  |c 201007221533  |d AYAR  |c 200909171527  |d ABO  |y 200904131646  |z SNSA 
090 0 0 |a TK7874  |b M7A257 2008 
100 0 |a Muhammad Afiq Abdul Aziz  |e author 
245 1 0 |a The influence on the accelerating voltages on the growth of the square structure during electron beam induced deposition (EBID) method  |h [electronic resource] /  |c Muhammad Afiq Abdul Aziz. 
264 0 |a Kangar, Perlis  |b School of Microelectronic Engineering, Universiti Malaysia Perlis  |c 2008. 
300 |a 1 CD-ROM  |c 4 3/4 in. 
500 |a Final Year Project 
520 |a In this final year project, EBID method has been used to deposit the square shape carbon structure on the substrate using the residual gas hydrocarbon as the precursor gas during deposition. 
650 0 |a Microelectronics. 
949 |a VIRTUAITEM  |d 30000  |f 1  |x 701  |6 902000223  |a TK7874 M7A257 2008 
942 |2 lcc  |c COMPFILE 
999 |c 93482  |d 93482 
952 |0 0  |1 0  |2 lcc  |4 0  |6 TK7874 M7 A257 02008  |7 0  |9 91207  |a PTSFP  |b PTSFP  |c 8  |d 2021-08-16  |l 0  |o TK7874 M7A257 2008  |p 902000223  |r 2021-08-16  |t 1  |w 2021-08-16  |y COMPFILE