Vertical electrostatic comb-drive actuator for MEMs design /
This final year project is about vertical electrostatic comb-drive actuator. A comb-finger structure is disclosed for use in optical switching applications. Large displacements of movable fingers were in consideration for the optical applications. The comb-finger structure is able to produce actuati...
Պահպանված է:
| Հիմնական հեղինակ: | |
|---|---|
| Ձևաչափ: | Ծրագրային ապահովում Շտեմարան |
| Լեզու: | English |
| Խորագրեր: | |
| Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
| Ամփոփում: | This final year project is about vertical electrostatic comb-drive actuator. A comb-finger structure is disclosed for use in optical switching applications. Large displacements of movable fingers were in consideration for the optical applications. The comb-finger structure is able to produce actuation force for a certain amount of displacement for the use of deflection. The comb-finger structure moves in a perpendicular direction to the substrate as a function of applied voltages. Actuation force changes for different physical parameters of the comb finger structure. |
|---|---|
| Նյութի նկարագրություն: | Final Year Project |
| Ֆիզիկական նկարագրություն: | 1 CD-ROM 4 3/4 in. |