Vertical electrostatic comb-drive actuator for MEMs design /
This final year project is about vertical electrostatic comb-drive actuator. A comb-finger structure is disclosed for use in optical switching applications. Large displacements of movable fingers were in consideration for the optical applications. The comb-finger structure is able to produce actuati...
שמור ב:
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| פורמט: | תכנה Database |
| שפה: | English |
| נושאים: | |
| תגים: |
הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|
היה/י הראשונ/ה לכתוב הערה!