Vertical electrostatic comb-drive actuator for MEMs design /
This final year project is about vertical electrostatic comb-drive actuator. A comb-finger structure is disclosed for use in optical switching applications. Large displacements of movable fingers were in consideration for the optical applications. The comb-finger structure is able to produce actuati...
Պահպանված է:
Հիմնական հեղինակ: | |
---|---|
Ձևաչափ: | Ծրագրային ապահովում Շտեմարան |
Լեզու: | English |
Խորագրեր: | |
Ցուցիչներ: |
Ավելացրեք ցուցիչ
Չկան պիտակներ, Եղեք առաջինը, ով նշում է այս գրառումը!
|
Եղիր առաջինը, ով թողնում է մեկնաբանություն!