Vertical electrostatic comb-drive actuator for MEMs design /
This final year project is about vertical electrostatic comb-drive actuator. A comb-finger structure is disclosed for use in optical switching applications. Large displacements of movable fingers were in consideration for the optical applications. The comb-finger structure is able to produce actuati...
Đã lưu trong:
Tác giả chính: | |
---|---|
Định dạng: | Phần mềm Cơ sở dữ liệu |
Ngôn ngữ: | English |
Những chủ đề: | |
Các nhãn: |
Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!
|
Là người đầu tiên ghi lời nhận xét!