Vertical electrostatic comb-drive actuator for MEMs design /

This final year project is about vertical electrostatic comb-drive actuator. A comb-finger structure is disclosed for use in optical switching applications. Large displacements of movable fingers were in consideration for the optical applications. The comb-finger structure is able to produce actuati...

Mô tả đầy đủ

Đã lưu trong:
Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Wan Mokhdzani Wan Nor Haimi (Tác giả)
Định dạng: Phần mềm Cơ sở dữ liệu
Ngôn ngữ:English
Những chủ đề:
Các nhãn: Thêm thẻ
Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!