Zaharah Mohamad. Study of the effect of different gases parameter in dry etching process on etch rate profile.
توثيق أسلوب شيكاغو (الطبعة السابعة عشر)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
توثيق جمعية اللغة المعاصرة MLA (الطبعة الثامنة)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
تحذير: قد لا تكون هذه الاستشهادات دائما دقيقة بنسبة 100%.