Zaharah Mohamad. Study of the effect of different gases parameter in dry etching process on etch rate profile.
Citace podle Chicago (17th ed.)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Citace podle MLA (8th ed.)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Upozornění: Tyto citace jsou generovány automaticky. Nemusí být zcela správně podle citačních pravidel..