Zaharah Mohamad. Study of the effect of different gases parameter in dry etching process on etch rate profile.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Achtung: Diese Zitate sind unter Umständen nicht zu 100% korrekt.