Zaharah Mohamad. Study of the effect of different gases parameter in dry etching process on etch rate profile.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Παραπομπή σε μορφή MLA (8th εκδ.)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.