Zaharah Mohamad. Study of the effect of different gases parameter in dry etching process on etch rate profile.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումZaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
MLA (8րդ խմբ.) ՄեջբերումZaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.