Zaharah Mohamad. Study of the effect of different gases parameter in dry etching process on etch rate profile.
Cytowanie według stylu Chicago (wyd. 17)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Cytowanie według stylu MLA (wyd. 8)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Uwaga: Te cytaty mogą odróżniać się od wytycznej twojego fakultetu..