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Zaharah Mohamad. Study of the effect of different gases parameter in dry etching process on etch rate profile.

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Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.

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Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.

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