Zaharah Mohamad. Study of the effect of different gases parameter in dry etching process on etch rate profile.
Citação do estilo Chicago (17ª ed.)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Citação MLA (8ª ed.)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
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