Zaharah Mohamad. Study of the effect of different gases parameter in dry etching process on etch rate profile.
Цитирование в стиле Чикаго (17-е изд.)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Цитирование MLA (8-е изд.)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Предупреждение: эти цитированмия не могут быть всегда правильны на 100%.