Zaharah Mohamad. Study of the effect of different gases parameter in dry etching process on etch rate profile.
Chicago-referens (17:e uppl.)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
MLA-referens (8:e uppl.)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.