Zaharah Mohamad. Study of the effect of different gases parameter in dry etching process on etch rate profile.
Чикаго стиль цитування (17-те видання)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Стиль цитування MLA (8-ме видання)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Попередження: стилі цитування не завжди правильні на всі 100%.