Zaharah Mohamad. Study of the effect of different gases parameter in dry etching process on etch rate profile.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 8)Zaharah Mohamad. Study of the Effect of Different Gases Parameter in Dry Etching Process on Etch Rate Profile.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.