Introduction to microfabrication /
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| Autore principale: | |
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| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Edizione: | 2nd ed. |
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| Descrizione fisica: | xiv, 518pages illustrations 25 cm. |
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| ISBN: | 9780470749838 (hc) 0470749830 (hc) |