MEMS : a practical guide to design, analysis, and applications /

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Autore principale: Korvink, Jan (Autore)
Altri autori: Korvink, J. G. (Jan G.), Paul, Oliver
Natura: Software eBook
Lingua:English
Pubblicazione: Heidelberg, Germany Springer 2006.
Soggetti:
Microelectromechanical systems.
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