Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications /

This handbook gives readers a look at the technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings - including optical lithography, electron beam, ion beam, and X-ray lithography. The book's main theme is the specia...

وصف كامل

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Helbert, John N. (مؤلف)
التنسيق: برمجيات كتاب الكتروني
اللغة:English
منشور في: Park Ridge, N.J. Noyes Publications/ William Andrew Pub., c2001.
الطبعة:Second edition
سلاسل:Materials science and process technology series. Electronic materials and process technology.
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:Table of contents
Publisher description
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

النظام قيد الصيانة

نظام إدارة مكتبتنا قيد الصيانة حاليا.

معلومات إتاحة المواد والمقتنيات غير متاحة حاليا. الرجاء قبول اعتذارنا عن أي إزعاج قد يسببه ذلك والاتصال بنا للمزيد من المساعدة:

david@pintaran.my

الانترنت

Table of contents
Publisher description