Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications /
This handbook gives readers a look at the technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings - including optical lithography, electron beam, ion beam, and X-ray lithography. The book's main theme is the specia...
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | |
---|---|
التنسيق: | برمجيات كتاب الكتروني |
اللغة: | English |
منشور في: |
Park Ridge, N.J.
Noyes Publications/ William Andrew Pub.,
c2001.
|
الطبعة: | Second edition |
سلاسل: | Materials science and process technology series. Electronic materials and process technology.
|
الموضوعات: | |
الوصول للمادة أونلاين: | Table of contents Publisher description |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
النظام قيد الصيانة
نظام إدارة مكتبتنا قيد الصيانة حاليا.
معلومات إتاحة المواد والمقتنيات غير متاحة حاليا. الرجاء قبول اعتذارنا عن أي إزعاج قد يسببه ذلك والاتصال بنا للمزيد من المساعدة:
الانترنت
Table of contentsPublisher description