Handbook of VLSI microlithography : principles, technology, and applications /

This handbook gives readers a look at the technology of printing very high resolution and high density integrated circuit (IC) patterns into thin resist process transfer coatings - including optical lithography, electron beam, ion beam, and X-ray lithography. The book's main theme is the specia...

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ग्रंथसूची विवरण
मुख्य लेखक: Helbert, John N. (लेखक)
स्वरूप: सॉफ्टवेयर ई-पुस्तक
भाषा:English
प्रकाशित: Park Ridge, N.J. Noyes Publications/ William Andrew Pub., c2001.
संस्करण:Second edition
श्रृंखला:Materials science and process technology series. Electronic materials and process technology.
विषय:
ऑनलाइन पहुंच:Table of contents
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