Post-processing techniques for integrated MEMS /
Gardado en:
| Autor Principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Idioma: | English |
| Publicado: |
Boston :
Artech House,
2006.
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| Subjects: | |
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| Descrición Física: | xiv, 207 pages : illustrations ; 24 cm. |
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| ISBN: | 1580539017 |