Tribology in chemical-mechanical planarization /
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| Autore principale: | |
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| Altri autori: | |
| Natura: | Libro |
| Lingua: | English |
| Pubblicazione: |
Boca Raton, FL :
Taylor and Francis,
2005.
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| Descrizione fisica: | 185 pages : illustrations ; 24 cm. |
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| ISBN: | 0824725670 |