Mems materials and processes handbook /

Tallennettuna:
Bibliografiset tiedot
Muut tekijät: Ghodssi, Reza, Lin, Pinyen
Aineistotyyppi: Kirja
Kieli:English
Julkaistu: New York : Springer, 2011.
Sarja:Mems refernce shelf
Aiheet:
Tagit: Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
LEADER 01240cam a22003135i 4500
001 u123958
003 SIRSI
005 20210114104407.0
008 110127s2011 nyu 000 0 eng
020 |a 9780387473161 
050 1 4 |a TJ163   |b .M45 2011 
245 0 0 |a Mems materials and processes handbook /  |c editors, Reza Ghodssi, Pinyen Lin. 
264 1 |a New York :  |b Springer,  |c 2011. 
300 |a xxxv, 1187 pages :  |b illustrations ;  |c 24 cm. 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a unmediated  |b n  |2 rdamedia 
338 |a volume  |b nc  |2 rdacarrier 
490 1 |a Mems refernce shelf 
596 |a 1 3 
650 0 |a Microelectromechanical systems   |x Materials.  |9 3145 
650 0 |a Microelectromechanical systems.  |9 3145 
700 1 |a Ghodssi, Reza.  |9 38103 
700 1 |a Lin, Pinyen.  |9 38104 
942 |c BOOK_OA 
997 |a 191864; 191865 
998 |a 1  |b Shafrizan Shafferi 
999 |c 18852  |d 18852 
952 |0 0  |1 0  |2 LCC  |4 0  |6 TJ0163 M45 02011  |7 0  |9 34038  |a UTHM_LIB  |b UTHM_LIB  |c OPENACCS  |d 2012-12-07  |l 0  |n 3  |o TJ163 .M45 2011  |p 1000290553  |r 2020-12-05  |t 1  |w 2020-12-05  |y BOOK_OA 
952 |0 0  |1 0  |2 LCC  |4 0  |6 TJ0163 M45 02011  |7 0  |9 34039  |a PAGOH_LIB  |b PAGOH_LIB  |c OPENACCS  |d 2012-12-07  |l 0  |n 3  |o TJ163 .M45 2011  |p 1000290554  |r 2020-12-05  |t 1  |w 2020-12-05  |y BOOK_OA