Mems materials and processes handbook /

Mems materials and processes handbook /

Show other versions (1)

Saved in:

Bibliografiske detaljer
Andre forfattere:	Ghodssi, Reza, Lin, Pinyen
Format:	Bog
Sprog:	English
Udgivet:	New York : Springer, 2011.
Serier:	Mems refernce shelf
Fag:	Microelectromechanical systems > Materials. Microelectromechanical systems.
Tags:	Tilføj Tag Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!

Lignende værker

Post-processing techniques for integrated MEMS /
af: Sedky, Sherif
Udgivet: (2006)

MEMS : a practical guide to design, analysis and applications /
Udgivet: (2006)

MEMS and NEMS : systems, devices and structures /
af: Lyshevski, Sergey Edward
Udgivet: (2002)

Microengineering, MEMS and interfacing : a practical guide /
af: Banks, Danny
Udgivet: (2006)

Electroceramic-based MEMS : fabrication-technology and applications /
Udgivet: (2005)

Advances in multiphysics simulation and experimental testing of MEMs /
Udgivet: (2008)

Reliability of MEMS /
Udgivet: (2008)

Microsystems technology : fabrication, test and reliability /
Udgivet: (2003)

Comprehensive microsystems /
Udgivet: (2007)

Sensitivity analysis on steady bionanofluid boundary layer flow /
af: Chan, Sze Qi
Udgivet: (2020)

An introduction to microelectromechanical systems engineering /
af: Maluf, Nadim
Udgivet: (2000)

Smart material systems and MEMS : design and development methodologies /
af: Varadan, V. K.
Udgivet: (2006)

Scaling issues and design of MEMS /
af: Baglio, S.
Udgivet: (2007)

Multi-wafer rotating MEMS machines : turbines, generators and engines /
Udgivet: (2009)

Reynolds number effects in designing a micromixer for biomems application /
af: Intan Sue Liana Abdul Hamid
Udgivet: (2008)

MEMS/MOEMS packaging : concepts, designs, materials and processes /
af: Gilleo, Ken
Udgivet: (2005)

MEMS and MOEMS technology and applications /
Udgivet: (2000)

Smart MEMS and sensor systems /
af: Gaura, Elena
Udgivet: (2006)

Introduction to microelectromechanical (MEM) microwave systems /
af: De Los Santos, Hector J.
Udgivet: (1999)

Simulasi suis optik menggunakan teknologi MEMs /
af: Mohamad Nazib Adon
Udgivet: (2006)

MEMS/NEMS : handbook techniques and applications /
Udgivet: (2005)

MEMS technology and devices /
Udgivet: (2007)

Enabling technology for MEMS and nanodevices /
Udgivet: (2004)

BioNanoFluidic MEMS /
Udgivet: (2008)

Dynamics of microelectromechanical systems /
af: Lobontiu, Nicolae
Udgivet: (2007)

Numerical simulation of mechatronic sensors and actuators /
af: Kaltenbacher, Manfred
Udgivet: (2007)

Micromachined transducers sourcebook /
af: Kovacs, Gregory T.A.
Udgivet: (1998)

MEMS and microsystems : design, manufacture and nanoscale engineering /
af: Hsu, Tai-Ran
Udgivet: (2008)

Mems materials and processes handbook /
Udgivet: (2011)

Silicon carbide microelectromechanical systems for harsh environments /
Udgivet: (2006)

IUTAM Symposium on Flow Control and MEMS : proceedings of the IUTAM Symposium held at the Royal Geographic Society, 19-22 September 2006, hosted by Imperial College, London, England /
Udgivet: (2008)

Smart sensors and mems : intelligent devices and microsystems for industrial applications /
Udgivet: (2014)

MEMS, bioMEMS and bioelectronics--materials and devices : symposium held November 28-December 2, 2011, Boston, Massachusetts, U.S.A. /
Udgivet: (2012)

Spintronic materials and technology /
af: Xu, Y. B.
Udgivet: (2007)

CMOS hotplate chemical microsensors /
Udgivet: (2007)

The MEMS handbook /
Udgivet: (2006)

CMOS-MEMS /
Udgivet: (2005)

RF MEMS circuit design for wireless communications /
af: Santos, Hector J. De Los
Udgivet: (2002)

Automated nanohandling by microrobots /
Udgivet: (2008)

Introduction to microfabrication /
af: Franssila, Sami
Udgivet: (2004)